中图仪器国产品牌光学轮廓仪SuperViewW1基于白光干涉原理，采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型，其3D重建算法，自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别，让3D测量变得简单。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的光学检测仪器。

产品特点

1、参数测量：粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积；

2、环境噪声检测：实时监测；

3、双重防撞?；ぃ喝砑STOP和Z向硬件传感器；

4、自动拼接：3轴光栅闭环反??；

5、双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振。

应用领域

双焦隐形眼镜的缝合测量

大高深比TSV测量

蓝宝石衬底团的形貌测量

单晶太阳能电池三维表征

金属部件表面的微小划痕

中图仪器国产品牌光学轮廓仪让轮廓测量价格更为实惠，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形情况、腐蚀情况、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

性能特色

1、高精度、高重复性

1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描?？楹?D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；

2）隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；

2、一体化操作的测量分析软件

1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能?？槠肴?/p>

5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞?；ね猓碓赯轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，?；ひ瞧?，降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。